FFU的组成构造之五、六、七：
五、气流均衡装置
随着FFU风机过滤器机组的不断普及，绝大部分厂家都开始装配气流均衡装置，用来调整FFU风机过滤器机组的出口气流，从而改善洁净室的气流分布。目前，这种均衡装置大约分为三种：一种为孔板，主要通过板上的孔的疏密分布来调节FFU的出口气流。一种为格栅，主要通过格栅的疏密来调节FFU的出口气流。另外一种为动力曲线，主要通过曲线的形状来诱导气流的流动，同时也通过曲线上的孔的疏密分布来调节气流。
六、高效过滤器
七、金属防护网
金属防护网主要起到对过滤器的保护作用，大部分都防静电。